什麼是XRF?
XRF | 什麼是XRF? 其XRF檢驗原理為何?
X光螢光光譜儀(X-ray Fluorescence Spectrometer,簡稱XRF光譜儀)。
是一種快速檢測定量固體和液體樣品元素組成的非破壞性物質量測方法。
利用儀器內部產生X光並照射待檢測樣品如圖(一),其能量足以將樣品中元素內層軌域的電子擊出如圖(二),
而外層軌域較高能階的電子則會填補至內層空缺的位置,其所釋出的能量以輻射形式發射,則稱為X光螢光(X-ray Fluorescence)。
不同的元素在被激發後會放射出各自特徵X光,分別具有不同的能量及波長,分析儀器在接受到這些特徵X光之後 如圖(三) ,
內部的系統將其轉為對應的光譜信號來分析的技術稱之XRF。